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用于集成电路的UV曝光光刻的HBO灯:
- 使用发射光谱(365nm)或深紫外激发(254nm)的“i-line”。
- 使用寿命长,具有最低的光衰率
用于平板显示器和印刷电路板UV曝光光刻的HBO灯:
- 在350nm〜450nm范围内具有最高的光射强度
- 设计用于恒定功率和/或恒定强度模式。
用于封装、Mems、LED光刻的UV曝光的HBO灯:
- 用于光刻机、高级封装、晶圆检验
- 范围为350W〜2500W
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